原因是當液體流過工件表面時，會形成一層粘性薄膜。在低頻時，粘性薄膜一般很厚，里面埋有小顆粒。無論超聲波功率(強度)多高，空化氣泡都無法與小顆粒接觸，因此無法去除小顆粒；而當超聲波頻率升高時，粘性膜的厚度會減少，超聲波產生的空化氣泡可以接觸到小顆粒，將它們從工件表面剝離。因此，低頻超聲去除大顆粒雜質的效果很好，但去除小顆粒雜質的效果很差。與此相反，則是高頻超聲波對去除小顆粒雜質特別有效。
一般來說，28KHZ頻率的清洗機多用于清洗五金、機械、汽摩、壓縮機等行業(yè)。光學光電清洗、線路板清洗等多使用40KHZ的頻率。高頻超聲波清洗機適用于電腦、微電子元件的精細清洗。兆赫超聲波清洗適用于集成電路芯片、硅片、波片的清洗，可去除微米級、亞微米的污垢不會對清洗部件造成任何損傷。對于一些清洗應用(如液晶、半導體等)，使用傳統(tǒng)頻率不僅不能滿足清洗要求，而且可能對工件造成損壞。
