以前傳統(tǒng)的浸洗、刷洗、壓力沖洗、振動(dòng)清洗和蒸氣清洗，這些清洗方法都很容易破壞半導(dǎo)體表面，而且半導(dǎo)體制程中重復(fù)次數(shù)多的工序，清洗效果的好壞較大程度的影響芯片制程及積體電路特性等質(zhì)量問題。在所有的清洗方式中全自動(dòng)超聲波清洗機(jī)對半導(dǎo)體的清洗效率高、效果好的一種，之所以超聲波清洗能夠達(dá)到如此的效果是與它獨(dú)特的工作原理和清洗方法密切相關(guān)的。
我們知道，半導(dǎo)體外形比較復(fù)雜，孔內(nèi)小，利用全自動(dòng)超聲波清洗機(jī)的效率高和高清潔度，得益于其聲波在介質(zhì)中傳播時(shí)產(chǎn)生的穿透性和空化沖擊疚，所以很容易將帶有復(fù)雜外形，內(nèi)腔和細(xì)空清洗干凈，在超聲波作用下只需兩三分鐘即可完成，其速度比傳統(tǒng)方法可提高幾倍，甚至幾十倍，清潔度也能達(dá)到高標(biāo)準(zhǔn)，提高了對半導(dǎo)體的生產(chǎn)效率，更突出顯示了用其他處理方法難以達(dá)到或不可取代的結(jié)果。
全自動(dòng)超聲波清洗機(jī)在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)有哪些注意事項(xiàng)？
假使全自動(dòng)超聲波清洗機(jī)操作不當(dāng)，將危害清洗設(shè)備的一切正常實(shí)際操作和應(yīng)用，為了很好地保證清洗設(shè)備具體應(yīng)用的實(shí)際效果，能夠沒有過相同層次的認(rèn)識(shí)，包括全自動(dòng)超聲波清洗機(jī)的功率、超聲波頻率機(jī)溫及其他因素，應(yīng)用清洗設(shè)備溫度越高，對污漬溶解越有利，但當(dāng)溫度達(dá)到一定的范圍，則會(huì)危害清洗設(shè)備的超聲波功效，降低清洗的實(shí)際效果。
清潔設(shè)備的清理時(shí)間越長，實(shí)際清理效果越好，除材料外，還有許多因素會(huì)造成危害，如清潔液的種類和污漬，應(yīng)用大功率的清潔劑來清洗不能清洗的部件，而應(yīng)用小功率的精細(xì)部件，頻率越低蒸發(fā)越好，頻率越高實(shí)際效果越好，對于簡單的表面層應(yīng)用低頻，對于繁雜的表層和深孔，要用大功率清潔劑來清洗，因?yàn)榇蠊β是鍧崉┦褂脮r(shí)，會(huì)發(fā)出滲漏聲，而且清潔劑很容易清洗。
在全自動(dòng)超聲波清洗機(jī)工作時(shí)，盡可能不必上升溫度以避免一切正常運(yùn)作，務(wù)必操縱清潔劑的安全系數(shù)，禁止在超聲波清洗機(jī)中出現(xiàn)別的異常物件，應(yīng)常常維護(hù)和保養(yǎng)全自動(dòng)超聲波清洗機(jī)，有臟東西落入罐底應(yīng)該馬上刪掉，變更或排盡清潔液要開展設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)清洗用品在室內(nèi)溫度下的罐里。
當(dāng)全自動(dòng)超聲波清洗機(jī)一切正常工作時(shí)，應(yīng)聽見超音波和儲(chǔ)罐的勻稱響聲，不拌和清潔液的表層，只有在掃出氣孔造成的灑水，在確保清理物件清理的前提條件下，盡量不加溫和間歇性，工作中由于加溫和長期超聲波會(huì)提升儲(chǔ)水箱內(nèi)的溫度。
