超聲波清洗技術(shù)早出現(xiàn)于20世紀(jì)30年代初，由美國新澤西州的美國無線電公司的技術(shù)人員提出。國外超聲波清洗設(shè)備種類繁多，超聲波清洗設(shè)備應(yīng)用廣泛，各種超聲波清洗設(shè)備不斷創(chuàng)新。高頻超聲波清洗技術(shù)在國外超聲波清洗設(shè)備中占有很大比例，用于清洗小芯片，可清除0.15mm的污染物。我國超聲波清洗技術(shù)研究較早，超聲波清洗技術(shù)發(fā)展迅速，應(yīng)用廣泛，清洗技術(shù)綜合利用方法多樣化：一是從單缸機到多缸機或自動超聲波清洗生產(chǎn)線；二是從低頻超聲波清洗機到高頻超聲波清洗機。
1）聚焦清洗：局部區(qū)域可發(fā)生高強度超聲波，工作頻率為15、20、28kHz。聚焦清洗可以彌補超聲能量不足造成的普通超聲清洗不徹底清洗。
2）超聲波振動清洗：超聲波通過變幅桿和振動頭傳輸?shù)叫枰逑吹奈矬w。后，由于高速振動物體表面污染物脫落，達到清洗效果。這種新方法與普通超聲波清洗方法的區(qū)別在于不需要清洗液。
3）多頻清洗：物體由多頻換能器同時發(fā)生不同頻率的超聲波清洗。不同的超聲波頻率對物體有不同的清洗效果。低頻超聲清洗物體表面的污染物，高頻超聲清洗內(nèi)部的小污染物，高頻低頻清洗物體。
4）掃描頻率和跳躍頻率清洗：兩者都改善了超聲波清洗容器中超聲波場的結(jié)構(gòu)。掃描頻率可以改善清波場，使物體清洗得很好。跳頻和多頻可根據(jù)實際情況選擇高頻和低頻。不同之處在于，跳頻是一種有兩種頻率的換能器，根據(jù)需要選擇頻率。
5）多槽自動聯(lián)合清洗：是多槽聯(lián)合智能控制，降低勞動強度，提高綜合效率的智能設(shè)備。它可以根據(jù)不同的情況、不同的頻率、功率等超聲波，以[敏感詞]的成本達到[敏感詞]的清洗效果。
6）兆赫超聲波清洗：這種高頻清洗方法的清洗原理是利用聲能產(chǎn)生的液體流動來清洗污件，而不是傳統(tǒng)的使用超聲波空化效應(yīng)來實現(xiàn)清洗目的。兆赫超聲波清洗不會因空化效應(yīng)而產(chǎn)生強大的清洗力。因此，其優(yōu)點是體積小、易損壞的集成芯片可以很好地清洗和保護設(shè)備，廣泛應(yīng)用于電子元件清洗領(lǐng)域。
與其他清洗技術(shù)相比，超聲波清洗技術(shù)有許多優(yōu)點。由于自動化程度低，傳統(tǒng)的超聲波清洗機難以保證設(shè)備清洗的均勻性。近年來，自動化程度高、靈活性強的超聲波清洗機逐漸出現(xiàn)。該清洗設(shè)備將超聲波清洗與化學(xué)清洗、漂洗、脫水、干燥等工藝相結(jié)合，采用PLC控制傳動、干燥、清洗，不僅實現(xiàn)了超聲波清洗的自動控制和批量操作，優(yōu)化了清洗工藝，提高了清洗質(zhì)量，而且具有很高的清洗效率。
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